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電子無塵車間工程的溫、濕度應根據(jù)生產(chǎn)工藝要求確定當生產(chǎn)工藝無具體要求時,其溫度可按20~26℃,相對濕度30%~70%采用。人員凈化用室和生活用室的溫度可按16~28℃采用。根據(jù)與國際ISO標注接軌的中國國家標準GB-50073,這類潔凈室的潔凈度等級1-9級,其中1-5級,氣流流型為單向流或混合流,風速;6級氣流流型為非單向流,換氣次數(shù)50-60次/h;7級氣流流型為非單向流,換氣次數(shù)15-25次/h;8-9級氣流流型為非單向流,換氣次數(shù)10-15次/h。