電子無塵車間工程的溫、濕度應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝要求確定當(dāng)生產(chǎn)工藝無具體要求時(shí)，其溫度可按20~26℃，相對(duì)濕度30%~70%采用。人員凈化用室和生活用室的溫度可按16~28℃采用。根據(jù)與國(guó)際ISO標(biāo)注接軌的中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)GB-50073，這類潔凈室的潔凈度等級(jí)1-9級(jí)，其中1-5級(jí)，氣流流型為單向流或混合流，風(fēng)速；6級(jí)氣流流型為非單向流，換氣次數(shù)50-60次/h；7級(jí)氣流流型為非單向流，換氣次數(shù)15-25次/h；8-9級(jí)氣流流型為非單向流，換氣次數(shù)10-15次/h。